在选购水环式真空泵时需要注意的事项
- 发布时间：2021/6/8 11:15:08
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1,真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求.如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg.通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级.
2,正确地选择真空泵的工作点.每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg.因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作.又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好.
3,真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量.
4,正确地组合真空泵.由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求.如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度.另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用.
5,真空设备对油污染的要求.若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵,分子筛吸附泵,溅射离子泵,低温泵等.如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱,障板,挡油阱等,也能达到清洁真空要求.
6,了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等.选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵.如果气体中含有蒸气,颗粒,及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器,除尘器等.
7,真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何.如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外.
8,真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响.若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施.