臭氧为混合气体其浓度通常按质量比和体积比来表示。质量比是指单位体积内混合气体中含有多少质量的臭氧，常用单位mg/L或g/m3等表示。体积比是指单位体积内臭氧所占的体积含量或百分比含量，使用百分比表示如2%、5%、12%等。卫生行业常用ppm表示臭氧浓度，即每立方臭氧混合气体中臭氧占该体积的百万分之一为1ppm。

   影响臭氧浓度的主要因素有 

   1、臭氧发生器的结构和加工精度； 

   2、冷却方式和条件； 

   3、驱动电压和驱动频率； 

   4、介电体材料； 

   5、原料气体中氧的含量及结净和干燥度。臭氧产量是指臭氧发生器单位时间内臭氧的产出量；臭氧浓度数值与进入臭氧发生器总气量数值的乘积即为臭氧产量；通常使用mg/h,g/h,kg/h这些单位表示。标准中规定规格型号使用臭氧产量表示和区分。