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目前，TFT-LCD的清理工艺中，一般采用的清洗方法有超紫外清洗，毛刷辊刷清洗，泡沫喷射及纯净水喷射清洗等。在TFT-LCD生产过程中，其基板表面残留很多细碎的颗粒，如有玻璃碎屑，灰尘，微小有机物或纤维等，如果不能及时有效地清除这些颗粒，后果将非常严重，将会产生如金属层之间短路，大面积脱落或者残留等各种不良现象，从而影响产品的各种电学性能。所以，TFT-LCD生产过程中清洗工艺是极其重要的一个环节。其中毛刷辊清洗法对于粒径大于3μm的颗粒的清洗效果很好，毛刷通过紧贴玻璃基板表面高速旋转，可以有效去除粘附或者沉积在金属和非金属膜层的大颗粒。因此毛刷质量的关键将影响玻璃基板的洗净率，一般选用双钢带螺旋缠绕式毛刷，刷毛密度要高，这样才能提高洗净率。
