产品特点

　　· 高效转子型线设计，极限真空度高；

　　· 泵腔内无润滑油，实现高洁净真空；

　　· 螺距转子加工精度高，实现低噪音、高寿命；

　　· 可抽除可凝性蒸汽、含有灰尘、腐蚀性等多种气体，不会滞留在泵腔内，适用于恶劣的应用场合；

　　· 特殊轴承设计，振动极低，并且拥有的启动可靠性，尤其适合苛刻的工艺制程；

　　· 密封方式，具有很强的密封性能及超长的使用寿命性；

　　· 特殊电机，提高运行可靠性，延长使用寿命并降低维护成本；

　　· 智能控制系统设计，使用智能编程可实现面板按钮一键启停 , 实现远程控制和监控功能；

　　· 结构设计紧凑，零部件少、易维护。

　　产品应用

　　冶金

　　真空钎焊、电子束焊接、氮碳共渗、低压渗氮、低压渗碳、化学气相浸渍、烧结、金属注射成型、精密熔模铸造、电渣重熔、真空感应熔炼、真空电弧精炼、钢液脱气等。

　　镀膜

　　卷绕镀膜、硬质镀膜 (CVD/DLC)、表面活化、等离子喷涂、玻璃镀膜等。

　　干燥

　　冷冻干燥、套管填充、变压器干燥、管道干燥、电容器干燥、锂电池干燥等。

　　真空室排气

　　气体回收 / 循环、真空室抽空等。

　　等离子工艺

　　等离子焊接、离子渗碳、等离子蚀刻及清理、等离子清洗等。

　　太阳能光伏

　　单晶硅提拉、PV 层压、LED 制造等。

　　其它

　　贴合机、医疗设备等。

　　主要性能指标

　　抽速曲线图